超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズ
『測定できないモノは作れない』UA3Pは、さまざまな微細形状測定でナノ精度モノづくりをサポート。
スマートフォン・DSC・DVDやBlu-rayなどのデジタル家電、ホームセキュリティー、光通信、車載用HUDなどに欠かせない非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01 μmの精度で測定を実現。簡単操作で加工へのフィードバックもスピーディーに対応します。
強み・特長
カタログ・詳細資料ダウンロード
超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズのカタログでは、各機種の説明をしております。 また、詳細資料では、超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの技術情報や活用事例を記載しております。
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超高精度三次元測定機 UA3Pシリーズの測定範囲
各種測定機の測定精度・適応分野
傾斜角70度で±0.10 μmの超高精度測定から□500 mmの大型部品測定までフルラインアップ
機種別測定エリア/精度
側面のみの機種（UA3P-L）も別途あり。
測定対象
| モバイルレンズ | レンズ用バレル | DSLRレンズ |
|---|---|---|
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| fθレンズ | X線望遠ミラー | レンズ金型 |
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| カメラ用レンズ | トーリックレンズ金型 | ステッパーレンズ |
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超高精度測定を実現するテクノロジー
座標測定技術
座標測定技術
測定機の座標系は、ステージと独立した3枚の参照平面（ミラー）で構成され、周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3nmで測長します。これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。
- 座標軸による測定誤差
0.05 μm以内（～100 mm）
0.3 μm以内（～500 mm）
上面測定プローブ/AFP
超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。
スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に合わせて追従します。
- 測定力：0.15～0.30 mN（15～30 mgf）
※UA3P-3000は0.10～0.20 mN - スタイラス：先端角30度、r=2 μmダイヤスタイラス使用可能
側面測定プローブ/ S-AFP
高精度に検出されたプローブミラーの傾きをXYステージにフィードバックし、低接触力（0.3 mN）のスキャン測定が可能です。
レンズ鏡筒（バレル）などの樹脂製品で変形無く測定が可能です。
- 測定力：0.3 mN（30 mgf）
- 測定精度：±0.15 μm（90°傾斜測定時）
- 測定最大角度
水平方向測定時45°～90°（水平面に対する角度）
垂直方向測定時80°～90°（水平面に対する角度）
ソフトウェア
簡単な操作で、高速・高精度な測定を実現
あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。
上側面評価技術
上面測定データと側面測定データを合成し、側面基準でレンズや金型の光軸の偏心、傾きが評価可能
主な仕様
| UA3P-3100 | UA3P-4000 | UA3P-5000H | UA3P-400T | UA3P-500H/550H | UA3P-650H | UA3P-700H | UA3P-300 | UA3P-400 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 外形寸法(WXDXH) mm | 760 x 860 x1580
| 1060 x 1200 x 1610 | 1300 x 1560 x 1900 | 1070 x 1230 x 1530 | 1260 x 1510 x 1580 | 2100 x 1830 x 2110 | 2100 x 1830 x 2200 | 700 x 800 x 1510 | 1010 x 1110 x 1450 |
| 本体質量 | 900kg (その他：200kg)
| 1500kg (その他：300kg) | 3200kg（その他：300kg) | 750kg | 2400kg（その他：300kg) | 8500kg（その他：300kg) | 9000kg（その他：300kg) | 700kg（その他：150kg) | 1200kg（その他：150kg) |
| 測定範囲 (X,Y,X軸）mm | 3100-A30： 30 x 30 x 20 3100-A50： 50 x 50 x 20 | 4000-A100: 100 x 100 x 35 4000-A120: 120 x 120 x 35 | 200 X 200 X 50 | 100 x 100 x 50 | 200 x 200 x 45 UA3P-550H (+260 x 90 x 45) | 400 x 400 x 120 +Φ500 x 120 | 500X500X 120 | 30 x 30 x 20 | 100 x 100 x 35 |
| 測定物設置セリア(X,Y,X軸）mm | 130 x 130 x 120
| 210 x 210 x 127.5 | 300 x 300 x 255 | 200 x 200 x 140 | 300 x 270 x 252.5 | 600 x 600 x 330 | 600 x 600 x 330 | 100 x 100 x 120 | 220 x 220 x 132 |
| 分解能 | 0.3 nm
| 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.3 nm |
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